Teledyne Vacuum Gauge 2002 Manual de usuario Pagina 25

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Model 2002 page 25
Figure 5.3b
Silicon lid
x
Membrane
Silicon base
TO-8 header
Temperature compensation
resistor (Pt)
Silicon nitride membrane
Heated sensor
resistor (Pt)
Silicon substrate
Figure 5.3a
Figure 5.3c
Silicon lid
Silicon base
Membrane
Er
Es
Eg
Es
Er
Au
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